防腐蝕隔膜真空泵所有與氣體接觸部分，均為聚四氟乙烯(PTFE)材料，通常被用于工況環境較為惡劣、腐蝕性較強的應用中。
維護的措施有哪些？
1、盡量放置在通風良好的環境下使用，如直接抽吸高溫的氣體建議使用冷凝裝置。
2、維修前要斷開電源，以免造成事故。松開壓力閥，放出泵體內的氣體。拔掉膠管。卸下壓力表，記住壓力表的安放位置，卸下四通閥。
3、擰下泵頭處的6個內六角螺絲，打開氣室，留存好螺絲。氣室的反面的凹槽內有密封圈，如果密封圈已經破損，請丟棄。氣室內有過濾棉，如果臟了請丟棄。
4、氣室下方是圓形的膜腔，拔出膜腔。檢查閥片是否老化破損，如果破損了或者過臟，請進行更換或者清理。只需擰下螺絲即可。膜腔下方為黑色的膜片，用小壓蓋固定住。擰開小壓蓋上的三個螺絲，留存好螺絲，取下壓蓋，肉眼觀察膜片是否破損，如有破損或者老化嚴重，請進行替換。
5、如果需要，用水劑的溶劑清洗泵頭或者用高壓氣體吹走臟物。不要使用有機化合物，酸類，腐蝕性的溶劑清洗，也不要潤滑任何部位，否則會減少隔膜真空泵的使用壽命，僅僅使用水系的溶劑。
6、維修前要斷開電源，如果電機無法運轉，或者其在壓力下開始運轉緩慢，關掉開關，斷開電源。確保供給電源與銘牌上所示電源一致。如果隔膜真空泵噪音過大，應立即停止運轉，進行維修。
